فرمت فایل : word(قابل ویرایش)تعداد صفحات48
مقدمه
پیدایش میکروسکوپهای الکترونی عبوری (TEM) به صورت تجاری به سال 1940 بازمیگردد، اما از سال 1950 به بعد بود که کاربردهای گستردهای در بررسی فلزات پیدا نمودند. مهمترین عامل کاهنده در کاربرد TEM مطالعه فلزات در آن سالها به مشکلات تهیه نمونه مربوط میشد. اما امروزه با توجه به روشهای گوناگون تهیه نمونه فلزات، این نوع میکروسکوپها جایگاه خاصی را در میان متخصصین مواد و متالوژی برای خود ایجاد نموده و باعث بروز نقطه عطف بسیاری از پژوهشها و تحقیقات گشته، به آنها سرعت فراوانی دادهاند. امروزه میکروسکوپ الکترونی عبوری امکان مطالعه موارد متنوعی در مواد گوناگون نظیر ویژگیهای ریزساختاری مواد، صفحات و جهات بلوری، نابجاییها، دوقلوییها، عیوب انباشتگی، رسوبها، آخالها، مکانیزمهای جوانهزنی، رشدو انجماد، انواع فازها و تحولات فازی، بازیابی و تبلور مجدد، خستگی، شکست، خوردگی و … را فراهم آوردهاست. در کل قابلیتهای امروزی TEM را میتوان مرهون چهار پیشرفت زیر دانست که دوتای آنها در ساختمان دستگاه و دوتای دیگر در نحوه تهیه نمونه حاصل شدهاند:
- استفاده از چند عدسی جمعکننده
- پراش الکترونی سطح انتخابی
- نازککردن نمونهها برای تهیه نمونههای شفاف در برابر الکترونها
- تهیه نمونه به روش ماسکبرداری
در بررسی مواد، میکروسکوپ الکترونی عبوری دارای سه مزیت اصلی ذیل است:
1- قابلیت دسترسی به بزرگنماییهای بسیار بالا (حتی بیش از یک میلیون برابر) به دلیل بهکارگیری انرژی بالی الکترونها و در نتیجه طول موج کمتر پرتوها.
2- قابلیت مشاهد ساختمان داخلی فلزات و آلیاژها به دلیل قدرت عبور الکترونهای پر انرژی از نمونه نازک.
3- قابلیت بررسی سطوح انتخابی نمونه به دلیل وجود حالت بررسی با پراش الکترونها.
مقایسه TEM با OM
به طوور کلی میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) مشابه میکروسکوپ نوری (OM) است با این تفاوت که در آن به جای نور با طول موج حدود Å 5000 از الکترونهایی با طول موج حدود Å 05/0 برای روشن کردن نمونه استفاده میشود. این امر به میکروسکوپ امکان میدهد که از نظر تئوری دارای قدرت تفکیک 105 با بهتر از میکروسکوپ نوری گردد. اما در عمل به علت محدودیتهای مربوط به طراحی عدسیها و روشهای نمونهگیری، قدرت تفکیک تنها به Å 2 میرسد که به نسبتی در حدود 1000 مرتبه از قدرت تفکیک میکروسکوپ نوری بهتر است. در کارهای روزمره قدرت تفکیک TEM حدود Å 10 است. قدرت تفکیک زیاد میکروسکوپ عبوری در مقایسه با میکروسکوپ نوردی امکان کاربرد آن برای بررسی رزساختار فلزات را فراهم میسازد. زیرا امکان مشاهدة اجزای نمونه تا ابعاد اتمی را میسر مینماید.
این قدرت تفکیک مسلماً بدون زحمت و صرف وقت قابل دستیابی نیست، اما بههر حال در دسترس متالورژیستها قرار دارد. بزرگنمایی زیاد نیز برای استفاده کامل از قدرت تفکیک میکروسکوپ ضروری است. با وجود این حتی با بزرگنماییهای حدود 1000 نیز نتایج TEM به مراتب روشنتر از نتایج میکروسکوپ نوری است. پرتوی روشنکننده در TEM الکترون و در OM، امواج نوری مرکب است. یک عدسی الکترونی ساده قادر است بزرگنمایی را حدود 50 تا 200 برابر افزایش دهد.
میکروسکوپ الکترونی عبوری